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光纤光谱仪薄膜厚度测量
光学的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理,通用型光纤光谱仪厂家,可以测量的膜层厚度10nm-50μm,分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到,通用型光纤光谱仪厂家,因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控;其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。配套的广州标旗应用软件包括丰富的各种常用材料和膜层的n值和k值,可以实现膜层厚度的在线监测,通用型光纤光谱仪厂家,并可以输出到excel文件进行过程控制。
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