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光纤光谱仪薄膜厚度测量

光学的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理，广东光纤光谱仪厂家，可以测量的膜层厚度10nm-50μm，通用型光纤光谱仪厂家，分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到，拉曼光纤光谱仪厂家，因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控；其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。配套的广州标旗应用软件包括丰富的各种常用材料和膜层的n值和k值，可以实现膜层厚度的在线监测，并可以输出到excel文件进行过程控制。

如何评价光谱仪性能？

一个光谱仪的性能可以用以下六个参数来体现:

1.光谱覆盖范围:光信号能被光谱仪检测到的波长范围

2.光谱分辨率:能被光谱仪分辨开的的波长差值。

3.灵敏度:能被光谱仪检测到的的光能量

4.动态范围:可被光谱仪测量到的与光能量的比值

5.信噪比:光谱仪的信号能量水平与噪声水平的比值

6.光谱获取速度:在一-定的入射光能量水平下，拉曼光纤光谱仪厂家，光谱仪产生可测量到的信号并

获得谱图所需的时间

对于光纤光谱仪来说，这六个参数是密切相关，互相影响的。

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